體晶圓廠：從數(shù)據(jù)孤島到業(yè)務(wù)操作系統(tǒng))
Palantir Ontology 如何重塑半導(dǎo)體晶圓廠從數(shù)據(jù)孤島到業(yè)務(wù)操作系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶圓廠數(shù)據(jù)散落在 MES、ERP、FDC、IoT 平臺(tái)等數(shù)十個(gè)孤島系統(tǒng)中。Palantir 的 Ontology本體論技術(shù)正在提供一種新思路把晶圓、設(shè)備、工藝步驟、缺陷、批次建模為可計(jì)算、可推理、可執(zhí)行的業(yè)務(wù)對(duì)象讓 AI 真正進(jìn)入晶圓廠的決策回路。目錄為什么晶圓廠需要本體論而非知識(shí)圖譜Palantir 平臺(tái)的技術(shù)架構(gòu)四塊拼圖如何咬合Action讓本體動(dòng)手的執(zhí)行器FDE 模式本體落地的特種部隊(duì)案例聚焦三星 DS 部門(mén)與 Palantir 的合作Athinia半導(dǎo)體行業(yè)的專(zhuān)屬數(shù)據(jù)協(xié)作平臺(tái)制造企業(yè)借鑒 Palantir 路徑的五條原則未來(lái)趨勢(shì)從分析到實(shí)時(shí)閉環(huán)控制寫(xiě)在最后本體論的本質(zhì)是業(yè)務(wù)操作系統(tǒng)為什么晶圓廠需要本體論而非知識(shí)圖譜傳統(tǒng)大數(shù)據(jù)分析在晶圓廠落地時(shí)往往會(huì)遇到一個(gè)隱形天花板數(shù)據(jù)被打通了但業(yè)務(wù)并沒(méi)有被理解。Palantir 對(duì) Ontology 的定義非常鋒利——數(shù)據(jù)本身沒(méi)有業(yè)務(wù)意義只有當(dāng)數(shù)據(jù)被映射成客戶(hù)、訂單、工廠、設(shè)備、供應(yīng)商、工藝步驟這些真實(shí)世界對(duì)象以及它們之間的關(guān)系時(shí)AI 才真正理解了企業(yè)。這套本體不是數(shù)據(jù)庫(kù)也不是知識(shí)圖譜的簡(jiǎn)單堆疊而是把散落在幾十個(gè)孤島系統(tǒng)里的數(shù)據(jù)統(tǒng)一建模成可被執(zhí)行的語(yǔ)義層。Palantir 將其定義為“組織的數(shù)字孿生”The Ontology is the digital twin of an organization。對(duì)晶圓廠而言這種可執(zhí)行語(yǔ)義層的價(jià)值體現(xiàn)在三個(gè)維度靜態(tài)關(guān)系建模晶圓批次 → 工藝步驟 → 設(shè)備 → 缺陷類(lèi)型的關(guān)聯(lián)網(wǎng)絡(luò)動(dòng)態(tài)動(dòng)作綁定定義設(shè)備停機(jī)“批次暫?！本S護(hù)工單觸發(fā)等可寫(xiě)回業(yè)務(wù)系統(tǒng)的 Action權(quán)限與審計(jì)閉環(huán)誰(shuí)、在什么時(shí)間、基于什么推理鏈、執(zhí)行了什么動(dòng)作全程可追溯這正是傳統(tǒng)知識(shí)圖譜與 Palantir Ontology 的本質(zhì)區(qū)別——后者不僅看懂業(yè)務(wù)還能動(dòng)手執(zhí)行業(yè)務(wù)。Palantir 平臺(tái)的技術(shù)架構(gòu)四塊拼圖如何咬合Palantir 的產(chǎn)品體系由四塊組成在晶圓廠場(chǎng)景下各自承擔(dān)不同職責(zé)產(chǎn)品在晶圓廠的角色Foundry數(shù)據(jù)運(yùn)營(yíng) OS接入 MES/ERP/IoT/FDC構(gòu)建統(tǒng)一數(shù)據(jù)湖與本體層AIPAI 平臺(tái)將 LLM 接入業(yè)務(wù)流使 AI 能基于本體推理并觸發(fā) ActionApollo跨云持續(xù)交付保障系統(tǒng)在公有云、私有云、本地、離線環(huán)境下的穩(wěn)定運(yùn)行Ontology貫穿四者的核心業(yè)務(wù)對(duì)象的運(yùn)行系統(tǒng)而非簡(jiǎn)單的語(yǔ)義解釋層近期 Palantir 對(duì) Ontology 的平臺(tái)角色進(jìn)行了一次重要升級(jí)——它不再只是中間語(yǔ)義層而是向上支撐 Object Views / OSDK / Ontology MCP / Agents向下承接 Foundry 的數(shù)據(jù)計(jì)算底座向內(nèi)進(jìn)入 Actions / Functions / Security / Workflow向外暴露為應(yīng)用工作面和智能體工具層向后進(jìn)入 Pilot / Branching / Promote 的治理鏈。 這意味著 Ontology 已經(jīng)從建模資產(chǎn)進(jìn)入發(fā)布資產(chǎn)階段。對(duì)晶圓廠而言任何業(yè)務(wù)對(duì)象的變更都會(huì)直接影響查詢(xún)結(jié)果、工作流行為、Agent 工具邊界、權(quán)限邏輯和審計(jì)鏈路——必須有分級(jí)、分支、審核、推廣、部署的工程治理能力。三層技術(shù)架構(gòu)詳解從更細(xì)的粒度來(lái)看Foundry 平臺(tái)在晶圓廠中的部署通常包含以下三層┌─────────────────────────────────────────────────────────┐ │ 應(yīng)用層 (Application) │ │ 良率分析面板 │ 缺陷檢測(cè)系統(tǒng) │ 供應(yīng)鏈儀表盤(pán) │ 自定義應(yīng)用 │ ├─────────────────────────────────────────────────────────┤ │ 分析引擎層 (Analytics) │ │ Ontology 業(yè)務(wù)對(duì)象模型 │ ML/AI │ 優(yōu)化求解器 │ 知識(shí)圖譜 │ ├─────────────────────────────────────────────────────────┤ │ 數(shù)據(jù)基礎(chǔ)層 (Data Foundation) │ │ Connectors │ 數(shù)據(jù)湖 │ 清洗/轉(zhuǎn)換/標(biāo)準(zhǔn)化 │ 元數(shù)據(jù)管理 │ └─────────────────────────────────────────────────────────┘這種架構(gòu)使 Foundry 不僅是一個(gè)數(shù)據(jù)湖更是一個(gè)具備數(shù)據(jù)建模、低代碼開(kāi)發(fā)、模擬演練和決策捕獲能力的閉環(huán)平臺(tái)。Action讓本體動(dòng)手的執(zhí)行器如果說(shuō) Ontology 是晶圓廠的數(shù)字孿生骨架那么Action 就是它的數(shù)字手臂。傳統(tǒng)大數(shù)據(jù)平臺(tái)如早期的 Hadoop 或純計(jì)算引擎通常是只讀的側(cè)重于分析和預(yù)測(cè)而 Palantir 的核心壁壘在于它是一個(gè)運(yùn)營(yíng)型平臺(tái)Operational Platform。Action 的本質(zhì)是對(duì) Ontology 中對(duì)象Objects和關(guān)聯(lián)關(guān)系Links的寫(xiě)操作Write-back / Mutation。在晶圓廠的典型場(chǎng)景業(yè)務(wù)操作與系統(tǒng)回寫(xiě)當(dāng)系統(tǒng)預(yù)警某臺(tái)蝕刻機(jī)的性能衰減時(shí)工程師在 Foundry 前端點(diǎn)擊 Action 按鈕直接在本體中創(chuàng)建維護(hù)工單并暫停相關(guān)批次AIP 智能體的執(zhí)行器LLM 基于本體推理出缺陷根因疑似光刻機(jī)校準(zhǔn)偏移自動(dòng)觸發(fā)校準(zhǔn)工單——整個(gè)過(guò)程受權(quán)限約束和審計(jì)鏈管控跨系統(tǒng)工作流編排Action 可以將指令寫(xiě)回到 MES、ERP 或供應(yīng)鏈系統(tǒng)形成閉環(huán)這種分析洞察 → 業(yè)務(wù)動(dòng)作的直接轉(zhuǎn)化正是 Palantir 在半導(dǎo)體行業(yè)區(qū)別于普通 AI 平臺(tái)的關(guān)鍵。Action 的安全約束機(jī)制┌──────────────────────────────────────────────┐ │ Action 執(zhí)行鏈路 │ │ │ │ 觸發(fā)條件 → 權(quán)限校驗(yàn) → 推理鏈記錄 │ │ ↓ ↓ ↓ │ │ 參數(shù)綁定 → 審批流程 → 審計(jì)日志 │ │ ↓ ↓ ↓ │ │ 執(zhí)行寫(xiě)回 → 狀態(tài)更新 → 通知反饋 │ └──────────────────────────────────────────────┘每一步都受到 Ontology 中定義的權(quán)限模型和審計(jì)規(guī)則約束確保 AI 的動(dòng)手行為始終在安全邊界內(nèi)。FDE 模式本體落地的特種部隊(duì)Palantir 的FDEForward Deployed Engineer前沿部署工程師模式是其本體論能真正嵌入晶圓廠業(yè)務(wù)流程的關(guān)鍵。雙角色協(xié)作機(jī)制FDE 團(tuán)隊(duì)通常采用雙角色協(xié)作模式角色職責(zé)類(lèi)比Echo識(shí)別關(guān)鍵問(wèn)題、管理客戶(hù)關(guān)系、理解工藝痛點(diǎn)產(chǎn)品經(jīng)理 業(yè)務(wù)顧問(wèn)Delta將需求轉(zhuǎn)化為軟件原型并直接部署、編碼實(shí)現(xiàn)全棧工程師 解決方案架構(gòu)師在晶圓廠中的工作流晶圓廠工藝工程師 ──┐ ├──→ 聯(lián)合工作坊 ──→ 工藝知識(shí)提取 ──→ 本體對(duì)象定義 Palantir FDE 團(tuán)隊(duì) ──┘ ↓ 數(shù)據(jù)映射與清洗 ↓ Action 原型開(kāi)發(fā) ↓ 現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證與迭代 ↓ 反哺產(chǎn)品平臺(tái)在晶圓廠中FDE 工程師會(huì)與工藝工程師共同工作將復(fù)雜的領(lǐng)域知識(shí)轉(zhuǎn)化為可計(jì)算的業(yè)務(wù)對(duì)象。例如定義蝕刻工藝為一個(gè)業(yè)務(wù)對(duì)象包含其參數(shù)范圍、設(shè)備關(guān)聯(lián)、質(zhì)量指標(biāo)和可能的缺陷類(lèi)型等屬性。這種協(xié)同使 Palantir 能夠快速響應(yīng)晶圓廠的特定需求同時(shí)將通用解決方案反哺到產(chǎn)品迭代中。案例聚焦三星 DS 部門(mén)與 Palantir 的合作2024 年底三星電子 DS 部門(mén)導(dǎo)入了 Palantir 的分析平臺(tái)這一合作在半導(dǎo)體行業(yè)具有標(biāo)志性意義。為什么是 Palantir 而非微軟、谷歌半導(dǎo)體制造涉及大量核心工藝參數(shù)和技術(shù)機(jī)密。據(jù)報(bào)道三星 DS 部門(mén)在 2024 年早期嘗試引入生成式 AI 服務(wù)時(shí)因數(shù)據(jù)安全考慮放棄了與微軟、谷歌的合作。最終選擇 Palantir 的關(guān)鍵原因包括數(shù)據(jù)不留存承諾Palantir 承諾不保存客戶(hù)數(shù)據(jù)本地化部署數(shù)據(jù)服務(wù)器部署在三星電子內(nèi)部良率提升壓力三星在晶圓代工和存儲(chǔ)制造兩端面臨巨大競(jìng)爭(zhēng)壓力特別是在 3nm 邏輯制程和 1c nm DRAM 的生產(chǎn)良率上合作動(dòng)因與行業(yè)背景過(guò)去幾年三星在先進(jìn)制程研發(fā)和量產(chǎn)上遇到了諸多問(wèn)題良品率低是最大問(wèn)題之一——不但丟失了高通和英偉達(dá)等大模型客戶(hù)也導(dǎo)致了自家 Exynos 芯片的量產(chǎn)延遲。據(jù)報(bào)道三星內(nèi)部成立了特別任務(wù)小組目標(biāo)是借助 Palantir 的 AI 技術(shù)調(diào)整芯片生產(chǎn)流程中不被察覺(jué)的問(wèn)題以期加速先進(jìn)制程的定型工作。?? 需要說(shuō)明的是關(guān)于具體良率數(shù)字的提升幅度目前公開(kāi)報(bào)道多為行業(yè)分析推測(cè)三星并未官方披露 Palantir 技術(shù)對(duì)良率的具體量化貢獻(xiàn)。在評(píng)估這類(lèi)合作時(shí)應(yīng)關(guān)注其方法論價(jià)值而非單一數(shù)字?？山梃b的從點(diǎn)到面實(shí)施路徑從三星的案例可以提煉出一條典型的實(shí)施路徑Phase 1: 試點(diǎn)驗(yàn)證 Phase 2: 本體擴(kuò)展 Phase 3: AI 驅(qū)動(dòng)優(yōu)化 ┌─────────────────┐ ┌─────────────────┐ ┌─────────────────┐ │ 選擇良率瓶頸 │ │ 擴(kuò)展業(yè)務(wù)對(duì)象 │ │ 引入 AIP 平臺(tái) │ │ 最嚴(yán)重的工藝節(jié)點(diǎn) │ → │ 定義更多因果 │ → │ LLM 自動(dòng)推理 │ │ FDE 進(jìn)駐晶圓廠 │ │ 關(guān)系與約束規(guī)則 │ │ 根因分析分鐘級(jí) │ │ 構(gòu)建初始本體模型 │ │ 覆蓋更多設(shè)備類(lèi)型 │ │ 全流程自動(dòng)化 │ └─────────────────┘ └─────────────────┘ └─────────────────┘試點(diǎn)驗(yàn)證階段選擇良率瓶頸最嚴(yán)重的工藝節(jié)點(diǎn)由 FDE 進(jìn)駐晶圓廠與工程師共同分析歷史缺陷數(shù)據(jù)識(shí)別關(guān)鍵工藝參數(shù)與良率的關(guān)聯(lián)關(guān)系構(gòu)建初始本體模型本體擴(kuò)展階段將本體擴(kuò)展到更多工藝步驟和設(shè)備類(lèi)型定義更豐富的業(yè)務(wù)對(duì)象和因果關(guān)系A(chǔ)I 驅(qū)動(dòng)優(yōu)化階段在成熟的本體論基礎(chǔ)上引入 AIP通過(guò) LLM 進(jìn)行更復(fù)雜的推理將傳統(tǒng)需要數(shù)小時(shí)的人工分析縮短至分鐘級(jí)Athinia半導(dǎo)體行業(yè)的專(zhuān)屬數(shù)據(jù)協(xié)作平臺(tái)除了直接的企業(yè)部署Palantir 與默克Merck于 2021 年聯(lián)合推出了Athinia——一個(gè)基于 Palantir Foundry 構(gòu)建的半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用數(shù)據(jù)協(xié)作平臺(tái)專(zhuān)注于解決良率提升和供應(yīng)鏈優(yōu)化問(wèn)題。核心技術(shù)機(jī)制Athinia 的核心機(jī)制是建立單一真實(shí)數(shù)據(jù)源Single Source of Truth整合來(lái)自不同供應(yīng)商和晶圓廠的數(shù)據(jù)消除信息孤島跨企業(yè)數(shù)據(jù)協(xié)作在匿名化、權(quán)限分層的環(huán)境下讓半導(dǎo)體制造商和材料供應(yīng)商共享數(shù)據(jù)敏感性分析與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)通過(guò)本體論定義工藝參數(shù)與良率之間的關(guān)系支持快速的假設(shè)分析子組件全生命周期追溯追蹤不可追蹤的子組件如化學(xué)機(jī)械拋光材料、蝕刻氣體的全生命周期數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)鏈合作生態(tài)據(jù)公開(kāi)報(bào)道Athinia 已與多家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)展開(kāi)合作合作方合作方向價(jià)值點(diǎn)東京電子 (TEL)設(shè)備性能數(shù)據(jù)整合與預(yù)測(cè)性維護(hù)優(yōu)化設(shè)備吞吐量減少非計(jì)劃停機(jī)美光 (Micron)供應(yīng)鏈數(shù)據(jù)協(xié)作與需求預(yù)測(cè)降低庫(kù)存成本加速價(jià)值生成ASNA子組件可追溯性與質(zhì)量關(guān)聯(lián)實(shí)現(xiàn)跨供應(yīng)商的質(zhì)量控制這種平臺(tái) 生態(tài)的模式正在重新定義半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的數(shù)據(jù)協(xié)作方式。制造企業(yè)借鑒 Palantir 路徑的五條原則剝離掉地域限制對(duì)任何一家希望引入本體論 AI的半導(dǎo)體制造企業(yè)以下五條原則是通用的原則一從高價(jià)值場(chǎng)景切入而非全域本體優(yōu)先選擇對(duì)良率和質(zhì)量影響最大的場(chǎng)景如關(guān)鍵工藝步驟、高價(jià)值設(shè)備構(gòu)建本體而非一開(kāi)始就追求全域數(shù)字孿生。先建關(guān)鍵對(duì)象而非大而全。原則二輕量語(yǔ)義層優(yōu)先不一開(kāi)始就追求復(fù)雜的本體模型先定義設(shè)備—工藝—缺陷三類(lèi)核心對(duì)象及其基本關(guān)系驗(yàn)證價(jià)值后再逐步添加更多對(duì)象和約束規(guī)則。這種漸進(jìn)式本體路徑能顯著降低項(xiàng)目風(fēng)險(xiǎn)。原則三先做可控 Action而非全自動(dòng)執(zhí)行首先定義有限范圍內(nèi)的可執(zhí)行動(dòng)作如預(yù)警通知、參數(shù)建議在驗(yàn)證效果后再逐步擴(kuò)展到自動(dòng)化工單觸發(fā)、批次暫停等復(fù)雜操作。把 AI 的手先綁住是穩(wěn)健落地的關(guān)鍵。原則四效果前置到交付方法采用快速驗(yàn)證 → 效果確認(rèn) → 持續(xù)擴(kuò)展的交付模式確保每一步都能帶來(lái)可衡量的業(yè)務(wù)價(jià)值。這與傳統(tǒng) IT 項(xiàng)目一次性交付的模式截然不同更強(qiáng)調(diào)迭代與反饋。原則五重視本體的動(dòng)態(tài)治理半導(dǎo)體制造技術(shù)不斷迭代本體也需要隨之動(dòng)態(tài)更新。必須建立本體的分級(jí)、分支、審核、推廣、部署機(jī)制——這正是 Palantir 近期 Ontology 平臺(tái)角色升級(jí)的核心啟示動(dòng)態(tài)本體一旦走向平臺(tái)化最終一定會(huì)進(jìn)入治理與交付問(wèn)題。實(shí)施路線圖總結(jié)時(shí)間軸 ──────────────────────────────────────────────────→ Month 1-3 Month 4-6 Month 7-12 Year 2 ┌─────────┐ ┌─────────┐ ┌──────────┐ ┌──────────┐ │ 數(shù)據(jù)治理 │ │ 輕量本體 │ │ Action │ │ AI 驅(qū)動(dòng) │ │ 基礎(chǔ)建設(shè) │ → │ 試點(diǎn)驗(yàn)證 │ → │ 可控執(zhí)行 │ → │ 全域擴(kuò)展 │ └─────────┘ └─────────┘ └──────────┘ └──────────┘ 數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化 關(guān)鍵對(duì)象建模 預(yù)警建議 自動(dòng)決策 元數(shù)據(jù)管理 關(guān)系定義 工單觸發(fā) 閉環(huán)控制 質(zhì)量評(píng)估 假設(shè)分析 權(quán)限管控 生態(tài)協(xié)同未來(lái)趨勢(shì)從分析到實(shí)時(shí)閉環(huán)控制Palantir Ontology 在晶圓廠的演進(jìn)正在指向三個(gè)明確方向1. 本體論與 AI 的深度融合形成業(yè)務(wù)本體 AI 推理的閉環(huán)系統(tǒng)AI 能根據(jù)本體定義的業(yè)務(wù)規(guī)則自動(dòng)調(diào)整工藝參數(shù)。未來(lái)的系統(tǒng)將能夠自動(dòng)分析設(shè)備報(bào)警日志與晶圓缺陷的關(guān)聯(lián)實(shí)時(shí)推薦最優(yōu)工藝參數(shù)組合預(yù)測(cè)性維護(hù)從告警驅(qū)動(dòng)進(jìn)化為模型驅(qū)動(dòng)2. 跨企業(yè)數(shù)據(jù)協(xié)作的擴(kuò)展從制造商與材料供應(yīng)商擴(kuò)展到設(shè)備制造商、測(cè)試服務(wù)商和設(shè)計(jì)公司形成全產(chǎn)業(yè)鏈的優(yōu)化能力設(shè)計(jì)公司 ──┐ ├──→ 統(tǒng)一本體層 ──→ 全產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)化 設(shè)備制造商 ──┤ │ 測(cè)試服務(wù)商 ──┘3. 實(shí)時(shí)閉環(huán)控制的實(shí)現(xiàn)本體論將支持從數(shù)據(jù)分析到實(shí)時(shí)閉環(huán)控制的轉(zhuǎn)變使 AI 能夠直接參與生產(chǎn)過(guò)程的控制實(shí)現(xiàn)真正的自適應(yīng)制造。結(jié)合 Palantir AIP 與邊緣計(jì)算能力未來(lái)晶圓廠的每個(gè)工藝步驟都可能擁有實(shí)時(shí)的 AI 決策回路。寫(xiě)在最后本體論的本質(zhì)是業(yè)務(wù)操作系統(tǒng)回到原點(diǎn)——Palantir 真正解決的問(wèn)題是“如何讓 AI 在真實(shí)組織中可靠、安全地工作”。晶圓廠的數(shù)據(jù)挑戰(zhàn)具有普遍性分散在 ERP、MES、供應(yīng)鏈、制造、財(cái)務(wù)等系統(tǒng)中的海量異構(gòu)數(shù)據(jù)加上復(fù)雜的權(quán)限體系和業(yè)務(wù)流程。如果這些基礎(chǔ)設(shè)施無(wú)法打通再先進(jìn)的大模型也很難真正落地。Palantir 的答案是在數(shù)據(jù)之上建立統(tǒng)一的數(shù)據(jù)模型把設(shè)備、訂單、工廠、供應(yīng)商等業(yè)務(wù)對(duì)象連接起來(lái)形成企業(yè)運(yùn)行的數(shù)字映射。對(duì)半導(dǎo)體制造企業(yè)而言關(guān)鍵不在于簡(jiǎn)單復(fù)制 Palantir 的技術(shù)棧而在于理解其背后的核心思想——將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為可計(jì)算的業(yè)務(wù)對(duì)象構(gòu)建企業(yè)運(yùn)行的數(shù)字孿生并通過(guò)工程化的治理機(jī)制讓 AI 真正進(jìn)入業(yè)務(wù)決策回路。這套方法論的價(jià)值遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越了某一家企業(yè)或某一個(gè)國(guó)家的邊界。參考資料Palantir 產(chǎn)品體系與 Ontology 定義相關(guān)解讀三星電子 DS 部門(mén)與 Palantir 合作報(bào)道IT之家轉(zhuǎn)述韓國(guó)經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)Palantir Action 機(jī)制與 AIP 智能體執(zhí)行器相關(guān)技術(shù)分析Athinia 平臺(tái)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈合作公開(kāi)報(bào)道Palantir Ontology 平臺(tái)角色升級(jí)相關(guān)技術(shù)分析免責(zé)聲明本文為技術(shù)架構(gòu)解析涉及的具體良率數(shù)字、合作細(xì)節(jié)均來(lái)源于公開(kāi)媒體報(bào)道三星與 Palantir 均未官方披露量化收益數(shù)據(jù)。實(shí)際項(xiàng)目評(píng)估請(qǐng)以官方信息為準(zhǔn)。 Palantir Ontology 如何重塑半導(dǎo)體晶圓廠：從數(shù)據(jù)孤島到業(yè)務(wù)操作系統(tǒng)
Palantir Ontology 如何重塑半導(dǎo)體晶圓廠從數(shù)據(jù)孤島到業(yè)務(wù)操作系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶圓廠數(shù)據(jù)散落在 MES、ERP、FDC、IoT 平臺(tái)等數(shù)十個(gè)孤島系統(tǒng)中。Palantir 的 Ontology本體論技術(shù)正在提供一種新思路把晶圓、設(shè)備、工藝步驟、缺陷、批次建模為可計(jì)算、可推理、可執(zhí)行的業(yè)務(wù)對(duì)象讓 AI 真正進(jìn)入晶圓廠的決策回路。目錄為什么晶圓廠需要本體論而非知識(shí)圖譜Palantir 平臺(tái)的技術(shù)架構(gòu)四塊拼圖如何咬合Action讓本體動(dòng)手的執(zhí)行器FDE 模式本體落地的特種部隊(duì)案例聚焦三星 DS 部門(mén)與 Palantir 的合作Athinia半導(dǎo)體行業(yè)的專(zhuān)屬數(shù)據(jù)協(xié)作平臺(tái)制造企業(yè)借鑒 Palantir 路徑的五條原則未來(lái)趨勢(shì)從分析到實(shí)時(shí)閉環(huán)控制寫(xiě)在最后本體論的本質(zhì)是業(yè)務(wù)操作系統(tǒng)為什么晶圓廠需要本體論而非知識(shí)圖譜傳統(tǒng)大數(shù)據(jù)分析在晶圓廠落地時(shí)往往會(huì)遇到一個(gè)隱形天花板數(shù)據(jù)被打通了但業(yè)務(wù)并沒(méi)有被理解。Palantir 對(duì) Ontology 的定義非常鋒利——數(shù)據(jù)本身沒(méi)有業(yè)務(wù)意義只有當(dāng)數(shù)據(jù)被映射成客戶(hù)、訂單、工廠、設(shè)備、供應(yīng)商、工藝步驟這些真實(shí)世界對(duì)象以及它們之間的關(guān)系時(shí)AI 才真正理解了企業(yè)。這套本體不是數(shù)據(jù)庫(kù)也不是知識(shí)圖譜的簡(jiǎn)單堆疊而是把散落在幾十個(gè)孤島系統(tǒng)里的數(shù)據(jù)統(tǒng)一建模成可被執(zhí)行的語(yǔ)義層。Palantir 將其定義為“組織的數(shù)字孿生”The Ontology is the digital twin of an organization。對(duì)晶圓廠而言這種可執(zhí)行語(yǔ)義層的價(jià)值體現(xiàn)在三個(gè)維度靜態(tài)關(guān)系建模晶圓批次 → 工藝步驟 → 設(shè)備 → 缺陷類(lèi)型的關(guān)聯(lián)網(wǎng)絡(luò)動(dòng)態(tài)動(dòng)作綁定定義設(shè)備停機(jī)“批次暫?！本S護(hù)工單觸發(fā)等可寫(xiě)回業(yè)務(wù)系統(tǒng)的 Action權(quán)限與審計(jì)閉環(huán)誰(shuí)、在什么時(shí)間、基于什么推理鏈、執(zhí)行了什么動(dòng)作全程可追溯這正是傳統(tǒng)知識(shí)圖譜與 Palantir Ontology 的本質(zhì)區(qū)別——后者不僅看懂業(yè)務(wù)還能動(dòng)手執(zhí)行業(yè)務(wù)。Palantir 平臺(tái)的技術(shù)架構(gòu)四塊拼圖如何咬合Palantir 的產(chǎn)品體系由四塊組成在晶圓廠場(chǎng)景下各自承擔(dān)不同職責(zé)產(chǎn)品在晶圓廠的角色Foundry數(shù)據(jù)運(yùn)營(yíng) OS接入 MES/ERP/IoT/FDC構(gòu)建統(tǒng)一數(shù)據(jù)湖與本體層AIPAI 平臺(tái)將 LLM 接入業(yè)務(wù)流使 AI 能基于本體推理并觸發(fā) ActionApollo跨云持續(xù)交付保障系統(tǒng)在公有云、私有云、本地、離線環(huán)境下的穩(wěn)定運(yùn)行Ontology貫穿四者的核心業(yè)務(wù)對(duì)象的運(yùn)行系統(tǒng)而非簡(jiǎn)單的語(yǔ)義解釋層近期 Palantir 對(duì) Ontology 的平臺(tái)角色進(jìn)行了一次重要升級(jí)——它不再只是中間語(yǔ)義層而是向上支撐 Object Views / OSDK / Ontology MCP / Agents向下承接 Foundry 的數(shù)據(jù)計(jì)算底座向內(nèi)進(jìn)入 Actions / Functions / Security / Workflow向外暴露為應(yīng)用工作面和智能體工具層向后進(jìn)入 Pilot / Branching / Promote 的治理鏈。 這意味著 Ontology 已經(jīng)從建模資產(chǎn)進(jìn)入發(fā)布資產(chǎn)階段。對(duì)晶圓廠而言任何業(yè)務(wù)對(duì)象的變更都會(huì)直接影響查詢(xún)結(jié)果、工作流行為、Agent 工具邊界、權(quán)限邏輯和審計(jì)鏈路——必須有分級(jí)、分支、審核、推廣、部署的工程治理能力。三層技術(shù)架構(gòu)詳解從更細(xì)的粒度來(lái)看Foundry 平臺(tái)在晶圓廠中的部署通常包含以下三層┌─────────────────────────────────────────────────────────┐ │ 應(yīng)用層 (Application) │ │ 良率分析面板 │ 缺陷檢測(cè)系統(tǒng) │ 供應(yīng)鏈儀表盤(pán) │ 自定義應(yīng)用 │ ├─────────────────────────────────────────────────────────┤ │ 分析引擎層 (Analytics) │ │ Ontology 業(yè)務(wù)對(duì)象模型 │ ML/AI │ 優(yōu)化求解器 │ 知識(shí)圖譜 │ ├─────────────────────────────────────────────────────────┤ │ 數(shù)據(jù)基礎(chǔ)層 (Data Foundation) │ │ Connectors │ 數(shù)據(jù)湖 │ 清洗/轉(zhuǎn)換/標(biāo)準(zhǔn)化 │ 元數(shù)據(jù)管理 │ └─────────────────────────────────────────────────────────┘這種架構(gòu)使 Foundry 不僅是一個(gè)數(shù)據(jù)湖更是一個(gè)具備數(shù)據(jù)建模、低代碼開(kāi)發(fā)、模擬演練和決策捕獲能力的閉環(huán)平臺(tái)。Action讓本體動(dòng)手的執(zhí)行器如果說(shuō) Ontology 是晶圓廠的數(shù)字孿生骨架那么Action 就是它的數(shù)字手臂。傳統(tǒng)大數(shù)據(jù)平臺(tái)如早期的 Hadoop 或純計(jì)算引擎通常是只讀的側(cè)重于分析和預(yù)測(cè)而 Palantir 的核心壁壘在于它是一個(gè)運(yùn)營(yíng)型平臺(tái)Operational Platform。Action 的本質(zhì)是對(duì) Ontology 中對(duì)象Objects和關(guān)聯(lián)關(guān)系Links的寫(xiě)操作Write-back / Mutation。在晶圓廠的典型場(chǎng)景業(yè)務(wù)操作與系統(tǒng)回寫(xiě)當(dāng)系統(tǒng)預(yù)警某臺(tái)蝕刻機(jī)的性能衰減時(shí)工程師在 Foundry 前端點(diǎn)擊 Action 按鈕直接在本體中創(chuàng)建維護(hù)工單并暫停相關(guān)批次AIP 智能體的執(zhí)行器LLM 基于本體推理出缺陷根因疑似光刻機(jī)校準(zhǔn)偏移自動(dòng)觸發(fā)校準(zhǔn)工單——整個(gè)過(guò)程受權(quán)限約束和審計(jì)鏈管控跨系統(tǒng)工作流編排Action 可以將指令寫(xiě)回到 MES、ERP 或供應(yīng)鏈系統(tǒng)形成閉環(huán)這種分析洞察 → 業(yè)務(wù)動(dòng)作的直接轉(zhuǎn)化正是 Palantir 在半導(dǎo)體行業(yè)區(qū)別于普通 AI 平臺(tái)的關(guān)鍵。Action 的安全約束機(jī)制┌──────────────────────────────────────────────┐ │ Action 執(zhí)行鏈路 │ │ │ │ 觸發(fā)條件 → 權(quán)限校驗(yàn) → 推理鏈記錄 │ │ ↓ ↓ ↓ │ │ 參數(shù)綁定 → 審批流程 → 審計(jì)日志 │ │ ↓ ↓ ↓ │ │ 執(zhí)行寫(xiě)回 → 狀態(tài)更新 → 通知反饋 │ └──────────────────────────────────────────────┘每一步都受到 Ontology 中定義的權(quán)限模型和審計(jì)規(guī)則約束確保 AI 的動(dòng)手行為始終在安全邊界內(nèi)。FDE 模式本體落地的特種部隊(duì)Palantir 的FDEForward Deployed Engineer前沿部署工程師模式是其本體論能真正嵌入晶圓廠業(yè)務(wù)流程的關(guān)鍵。雙角色協(xié)作機(jī)制FDE 團(tuán)隊(duì)通常采用雙角色協(xié)作模式角色職責(zé)類(lèi)比Echo識(shí)別關(guān)鍵問(wèn)題、管理客戶(hù)關(guān)系、理解工藝痛點(diǎn)產(chǎn)品經(jīng)理 業(yè)務(wù)顧問(wèn)Delta將需求轉(zhuǎn)化為軟件原型并直接部署、編碼實(shí)現(xiàn)全棧工程師 解決方案架構(gòu)師在晶圓廠中的工作流晶圓廠工藝工程師 ──┐ ├──→ 聯(lián)合工作坊 ──→ 工藝知識(shí)提取 ──→ 本體對(duì)象定義 Palantir FDE 團(tuán)隊(duì) ──┘ ↓ 數(shù)據(jù)映射與清洗 ↓ Action 原型開(kāi)發(fā) ↓ 現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證與迭代 ↓ 反哺產(chǎn)品平臺(tái)在晶圓廠中FDE 工程師會(huì)與工藝工程師共同工作將復(fù)雜的領(lǐng)域知識(shí)轉(zhuǎn)化為可計(jì)算的業(yè)務(wù)對(duì)象。例如定義蝕刻工藝為一個(gè)業(yè)務(wù)對(duì)象包含其參數(shù)范圍、設(shè)備關(guān)聯(lián)、質(zhì)量指標(biāo)和可能的缺陷類(lèi)型等屬性。這種協(xié)同使 Palantir 能夠快速響應(yīng)晶圓廠的特定需求同時(shí)將通用解決方案反哺到產(chǎn)品迭代中。案例聚焦三星 DS 部門(mén)與 Palantir 的合作2024 年底三星電子 DS 部門(mén)導(dǎo)入了 Palantir 的分析平臺(tái)這一合作在半導(dǎo)體行業(yè)具有標(biāo)志性意義。為什么是 Palantir 而非微軟、谷歌半導(dǎo)體制造涉及大量核心工藝參數(shù)和技術(shù)機(jī)密。據(jù)報(bào)道三星 DS 部門(mén)在 2024 年早期嘗試引入生成式 AI 服務(wù)時(shí)因數(shù)據(jù)安全考慮放棄了與微軟、谷歌的合作。最終選擇 Palantir 的關(guān)鍵原因包括數(shù)據(jù)不留存承諾Palantir 承諾不保存客戶(hù)數(shù)據(jù)本地化部署數(shù)據(jù)服務(wù)器部署在三星電子內(nèi)部良率提升壓力三星在晶圓代工和存儲(chǔ)制造兩端面臨巨大競(jìng)爭(zhēng)壓力特別是在 3nm 邏輯制程和 1c nm DRAM 的生產(chǎn)良率上合作動(dòng)因與行業(yè)背景過(guò)去幾年三星在先進(jìn)制程研發(fā)和量產(chǎn)上遇到了諸多問(wèn)題良品率低是最大問(wèn)題之一——不但丟失了高通和英偉達(dá)等大模型客戶(hù)也導(dǎo)致了自家 Exynos 芯片的量產(chǎn)延遲。據(jù)報(bào)道三星內(nèi)部成立了特別任務(wù)小組目標(biāo)是借助 Palantir 的 AI 技術(shù)調(diào)整芯片生產(chǎn)流程中不被察覺(jué)的問(wèn)題以期加速先進(jìn)制程的定型工作。?? 需要說(shuō)明的是關(guān)于具體良率數(shù)字的提升幅度目前公開(kāi)報(bào)道多為行業(yè)分析推測(cè)三星并未官方披露 Palantir 技術(shù)對(duì)良率的具體量化貢獻(xiàn)。在評(píng)估這類(lèi)合作時(shí)應(yīng)關(guān)注其方法論價(jià)值而非單一數(shù)字?？山梃b的從點(diǎn)到面實(shí)施路徑從三星的案例可以提煉出一條典型的實(shí)施路徑Phase 1: 試點(diǎn)驗(yàn)證 Phase 2: 本體擴(kuò)展 Phase 3: AI 驅(qū)動(dòng)優(yōu)化 ┌─────────────────┐ ┌─────────────────┐ ┌─────────────────┐ │ 選擇良率瓶頸 │ │ 擴(kuò)展業(yè)務(wù)對(duì)象 │ │ 引入 AIP 平臺(tái) │ │ 最嚴(yán)重的工藝節(jié)點(diǎn) │ → │ 定義更多因果 │ → │ LLM 自動(dòng)推理 │ │ FDE 進(jìn)駐晶圓廠 │ │ 關(guān)系與約束規(guī)則 │ │ 根因分析分鐘級(jí) │ │ 構(gòu)建初始本體模型 │ │ 覆蓋更多設(shè)備類(lèi)型 │ │ 全流程自動(dòng)化 │ └─────────────────┘ └─────────────────┘ └─────────────────┘試點(diǎn)驗(yàn)證階段選擇良率瓶頸最嚴(yán)重的工藝節(jié)點(diǎn)由 FDE 進(jìn)駐晶圓廠與工程師共同分析歷史缺陷數(shù)據(jù)識(shí)別關(guān)鍵工藝參數(shù)與良率的關(guān)聯(lián)關(guān)系構(gòu)建初始本體模型本體擴(kuò)展階段將本體擴(kuò)展到更多工藝步驟和設(shè)備類(lèi)型定義更豐富的業(yè)務(wù)對(duì)象和因果關(guān)系A(chǔ)I 驅(qū)動(dòng)優(yōu)化階段在成熟的本體論基礎(chǔ)上引入 AIP通過(guò) LLM 進(jìn)行更復(fù)雜的推理將傳統(tǒng)需要數(shù)小時(shí)的人工分析縮短至分鐘級(jí)Athinia半導(dǎo)體行業(yè)的專(zhuān)屬數(shù)據(jù)協(xié)作平臺(tái)除了直接的企業(yè)部署Palantir 與默克Merck于 2021 年聯(lián)合推出了Athinia——一個(gè)基于 Palantir Foundry 構(gòu)建的半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用數(shù)據(jù)協(xié)作平臺(tái)專(zhuān)注于解決良率提升和供應(yīng)鏈優(yōu)化問(wèn)題。核心技術(shù)機(jī)制Athinia 的核心機(jī)制是建立單一真實(shí)數(shù)據(jù)源Single Source of Truth整合來(lái)自不同供應(yīng)商和晶圓廠的數(shù)據(jù)消除信息孤島跨企業(yè)數(shù)據(jù)協(xié)作在匿名化、權(quán)限分層的環(huán)境下讓半導(dǎo)體制造商和材料供應(yīng)商共享數(shù)據(jù)敏感性分析與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)通過(guò)本體論定義工藝參數(shù)與良率之間的關(guān)系支持快速的假設(shè)分析子組件全生命周期追溯追蹤不可追蹤的子組件如化學(xué)機(jī)械拋光材料、蝕刻氣體的全生命周期數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)鏈合作生態(tài)據(jù)公開(kāi)報(bào)道Athinia 已與多家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)展開(kāi)合作合作方合作方向價(jià)值點(diǎn)東京電子 (TEL)設(shè)備性能數(shù)據(jù)整合與預(yù)測(cè)性維護(hù)優(yōu)化設(shè)備吞吐量減少非計(jì)劃停機(jī)美光 (Micron)供應(yīng)鏈數(shù)據(jù)協(xié)作與需求預(yù)測(cè)降低庫(kù)存成本加速價(jià)值生成ASNA子組件可追溯性與質(zhì)量關(guān)聯(lián)實(shí)現(xiàn)跨供應(yīng)商的質(zhì)量控制這種平臺(tái) 生態(tài)的模式正在重新定義半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的數(shù)據(jù)協(xié)作方式。制造企業(yè)借鑒 Palantir 路徑的五條原則剝離掉地域限制對(duì)任何一家希望引入本體論 AI的半導(dǎo)體制造企業(yè)以下五條原則是通用的原則一從高價(jià)值場(chǎng)景切入而非全域本體優(yōu)先選擇對(duì)良率和質(zhì)量影響最大的場(chǎng)景如關(guān)鍵工藝步驟、高價(jià)值設(shè)備構(gòu)建本體而非一開(kāi)始就追求全域數(shù)字孿生。先建關(guān)鍵對(duì)象而非大而全。原則二輕量語(yǔ)義層優(yōu)先不一開(kāi)始就追求復(fù)雜的本體模型先定義設(shè)備—工藝—缺陷三類(lèi)核心對(duì)象及其基本關(guān)系驗(yàn)證價(jià)值后再逐步添加更多對(duì)象和約束規(guī)則。這種漸進(jìn)式本體路徑能顯著降低項(xiàng)目風(fēng)險(xiǎn)。原則三先做可控 Action而非全自動(dòng)執(zhí)行首先定義有限范圍內(nèi)的可執(zhí)行動(dòng)作如預(yù)警通知、參數(shù)建議在驗(yàn)證效果后再逐步擴(kuò)展到自動(dòng)化工單觸發(fā)、批次暫停等復(fù)雜操作。把 AI 的手先綁住是穩(wěn)健落地的關(guān)鍵。原則四效果前置到交付方法采用快速驗(yàn)證 → 效果確認(rèn) → 持續(xù)擴(kuò)展的交付模式確保每一步都能帶來(lái)可衡量的業(yè)務(wù)價(jià)值。這與傳統(tǒng) IT 項(xiàng)目一次性交付的模式截然不同更強(qiáng)調(diào)迭代與反饋。原則五重視本體的動(dòng)態(tài)治理半導(dǎo)體制造技術(shù)不斷迭代本體也需要隨之動(dòng)態(tài)更新。必須建立本體的分級(jí)、分支、審核、推廣、部署機(jī)制——這正是 Palantir 近期 Ontology 平臺(tái)角色升級(jí)的核心啟示動(dòng)態(tài)本體一旦走向平臺(tái)化最終一定會(huì)進(jìn)入治理與交付問(wèn)題。實(shí)施路線圖總結(jié)時(shí)間軸 ──────────────────────────────────────────────────→ Month 1-3 Month 4-6 Month 7-12 Year 2 ┌─────────┐ ┌─────────┐ ┌──────────┐ ┌──────────┐ │ 數(shù)據(jù)治理 │ │ 輕量本體 │ │ Action │ │ AI 驅(qū)動(dòng) │ │ 基礎(chǔ)建設(shè) │ → │ 試點(diǎn)驗(yàn)證 │ → │ 可控執(zhí)行 │ → │ 全域擴(kuò)展 │ └─────────┘ └─────────┘ └──────────┘ └──────────┘ 數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化 關(guān)鍵對(duì)象建模 預(yù)警建議 自動(dòng)決策 元數(shù)據(jù)管理 關(guān)系定義 工單觸發(fā) 閉環(huán)控制 質(zhì)量評(píng)估 假設(shè)分析 權(quán)限管控 生態(tài)協(xié)同未來(lái)趨勢(shì)從分析到實(shí)時(shí)閉環(huán)控制Palantir Ontology 在晶圓廠的演進(jìn)正在指向三個(gè)明確方向1. 本體論與 AI 的深度融合形成業(yè)務(wù)本體 AI 推理的閉環(huán)系統(tǒng)AI 能根據(jù)本體定義的業(yè)務(wù)規(guī)則自動(dòng)調(diào)整工藝參數(shù)。未來(lái)的系統(tǒng)將能夠自動(dòng)分析設(shè)備報(bào)警日志與晶圓缺陷的關(guān)聯(lián)實(shí)時(shí)推薦最優(yōu)工藝參數(shù)組合預(yù)測(cè)性維護(hù)從告警驅(qū)動(dòng)進(jìn)化為模型驅(qū)動(dòng)2. 跨企業(yè)數(shù)據(jù)協(xié)作的擴(kuò)展從制造商與材料供應(yīng)商擴(kuò)展到設(shè)備制造商、測(cè)試服務(wù)商和設(shè)計(jì)公司形成全產(chǎn)業(yè)鏈的優(yōu)化能力設(shè)計(jì)公司 ──┐ ├──→ 統(tǒng)一本體層 ──→ 全產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)化 設(shè)備制造商 ──┤ │ 測(cè)試服務(wù)商 ──┘3. 實(shí)時(shí)閉環(huán)控制的實(shí)現(xiàn)本體論將支持從數(shù)據(jù)分析到實(shí)時(shí)閉環(huán)控制的轉(zhuǎn)變使 AI 能夠直接參與生產(chǎn)過(guò)程的控制實(shí)現(xiàn)真正的自適應(yīng)制造。結(jié)合 Palantir AIP 與邊緣計(jì)算能力未來(lái)晶圓廠的每個(gè)工藝步驟都可能擁有實(shí)時(shí)的 AI 決策回路。寫(xiě)在最后本體論的本質(zhì)是業(yè)務(wù)操作系統(tǒng)回到原點(diǎn)——Palantir 真正解決的問(wèn)題是“如何讓 AI 在真實(shí)組織中可靠、安全地工作”。晶圓廠的數(shù)據(jù)挑戰(zhàn)具有普遍性分散在 ERP、MES、供應(yīng)鏈、制造、財(cái)務(wù)等系統(tǒng)中的海量異構(gòu)數(shù)據(jù)加上復(fù)雜的權(quán)限體系和業(yè)務(wù)流程。如果這些基礎(chǔ)設(shè)施無(wú)法打通再先進(jìn)的大模型也很難真正落地。Palantir 的答案是在數(shù)據(jù)之上建立統(tǒng)一的數(shù)據(jù)模型把設(shè)備、訂單、工廠、供應(yīng)商等業(yè)務(wù)對(duì)象連接起來(lái)形成企業(yè)運(yùn)行的數(shù)字映射。對(duì)半導(dǎo)體制造企業(yè)而言關(guān)鍵不在于簡(jiǎn)單復(fù)制 Palantir 的技術(shù)棧而在于理解其背后的核心思想——將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為可計(jì)算的業(yè)務(wù)對(duì)象構(gòu)建企業(yè)運(yùn)行的數(shù)字孿生并通過(guò)工程化的治理機(jī)制讓 AI 真正進(jìn)入業(yè)務(wù)決策回路。這套方法論的價(jià)值遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越了某一家企業(yè)或某一個(gè)國(guó)家的邊界。參考資料Palantir 產(chǎn)品體系與 Ontology 定義相關(guān)解讀三星電子 DS 部門(mén)與 Palantir 合作報(bào)道IT之家轉(zhuǎn)述韓國(guó)經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)Palantir Action 機(jī)制與 AIP 智能體執(zhí)行器相關(guān)技術(shù)分析Athinia 平臺(tái)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈合作公開(kāi)報(bào)道Palantir Ontology 平臺(tái)角色升級(jí)相關(guān)技術(shù)分析免責(zé)聲明本文為技術(shù)架構(gòu)解析涉及的具體良率數(shù)字、合作細(xì)節(jié)均來(lái)源于公開(kāi)媒體報(bào)道三星與 Palantir 均未官方披露量化收益數(shù)據(jù)。實(shí)際項(xiàng)目評(píng)估請(qǐng)以官方信息為準(zhǔn)。